ISO 14644 표준에 따르면 클래스 100(ISO 클래스 5) 클린룸은 최고 수준의 청정도를 자랑합니다. 그렇다면 고청정 클린룸에서는 FFU, 공조 시스템, 조명을 어떻게 배치해야 할까요?
사실, 클래스 100 클린룸의 핵심 원리만 이해하면 레이아웃을 쉽게 계획할 수 있습니다. 클래스 100 클린룸 설계의 핵심은 입자 제어 및 청결 유지를 위해 "단방향, 수직, 균일한" 공기 흐름을 구현하고 유지하는 것입니다.
따라서 팬필터 유닛(FFU), 에어컨 및 조명은 "공기 흐름 우선 및 기능 적응" 원칙에 따라 계획해야 합니다. 구체적인 요구 사항은 다음과 같습니다.
I. 팬 필터 유닛(FFU): 클래스 100 클린룸의 천장은 완전히 덮여 있어야 합니다. FFU는 핵심 공기 정화 장비이며, 천장 전체를 촘촘하게 덮는 전면 커버리지 방식을 채택해야 합니다. 일반적으로 80% 이상의 커버리지를 달성해야 합니다. 이러한 설계는 깨끗한 공기가 피스톤처럼 아래쪽으로 고르게 수직으로 밀려 내려가면서 오염 물질을 바닥의 환기구 쪽으로 빠르게 밀어내어 단방향 층류를 형성함으로써 작업 영역을 효과적으로 보호합니다. FFU의 균일한 배치는 공기 흐름 사각지대를 방지하고 청정도를 유지하는 데 매우 중요합니다.
II. 공조 및 공기 흐름 구성: 상부 공급 및 하부 배출 방식으로 설계된 클래스 100 클린룸. 클린룸의 공조 시스템은 FFU(Fluorescence Information Unit)와 연결되어야 합니다. FFU에서 처리된 깨끗한 공기는 수직으로 아래쪽으로 공급된 후, 바닥의 배출구를 통해 원활한 하향 공기 흐름을 유지합니다. 이러한 "상부 공급 및 하부 배출" 방식은 장비와 작업자가 발생시키는 입자를 효율적으로 제거합니다. 공조 장치는 배출되는 공기를 처리하고, 온도와 습도를 조절하며, 2차 여과를 수행하고, 신선한 공기와 혼합한 후, 플레넘 챔버를 통해 FFU로 공급하여 폐쇄 루프를 형성합니다.
III. 조명 배치: FFU 모듈과 통합. 클래스 100 클린룸 조명 기구는 방진, 정전기 방지 및 눈부심 방지 기능을 갖춘 LED 클린룸 조명이어야 하며, 먼지 축적 및 공기 흐름 방해를 방지하기 위해 천장에 매립형으로 설치해야 합니다. 일반적으로 HEPA 필터 프레임 아래에 LED 물방울 모양 조명을 설치합니다. 이러한 조명은 공기 흐름 방해를 최소화하여 균일한 조명을 제공하고 단방향 흐름 안정성(>300 lx)을 유지합니다. 또한 그림자가 생기지 않도록 작업 영역 위에 고르게 분포됩니다.
클래스 100 클린룸의 구조는 매우 복잡한 시스템입니다. 천장을 FFU(팬 필터 유닛)로 덮어 층류 코어를 형성하고, 하부 환기구를 통해 질서 있는 공기 흐름을 구축하며, 조명 및 기타 설비를 천장 구조에 고도로 통합합니다. 이 세 가지 요소가 완벽한 조화를 이루어 안정적이고 효율적인 청정 환경을 조성합니다.
게시 시간: 2025년 12월 10일